기초반도체공정 2 1 Oxidation Gate Insulator SiO2 Dangling Bond Forming Gas Annealing 기초반도체공학 1 5 Pn접합 Depletion Capacitance 기초반도체공학 1 1 Pn접합 정성적 해석 수식없이 물리전자공학 6 1 과잉캐리어의 생성 및 재결합 Excess Carrier Generation Recombination Steady State 메모리반도체소자 1 2 Memory Hierarchy SRAM DRAM Flash Emerging Memory 기초반도체공정 2 3 Oxidation 현재는 안쓰는 이유 Gate Oxide Scaling High K Metal Gate 기초반도체공정 7 1 Metallization Interconnection Junction Spike Electromigration Damascene 메모리반도체소자 2 1 SRAM Cell Operation Read Write 메모리반도체소자 1 1 Memory Chip Structure Memory Cell Array Word Line Bit Line Sense Amplifier 기초반도체공정 5 2 Sheet Resistance Four Point Probe Kelvin Probe Secondary Ion Mass Spectroscopy 기초반도체공정 2 2 Oxidation Kinetics Deal Grove Model Oxidation 공정의 수학적 모델 모델링은 어렵지 않아 기초반도체공학 3 1 MS접합 정성적해석 정류작용 Schottky Contact Ohmic Contact 기초반도체공학 3 5 이종접합 Heterojunction 기초반도체공정 7 3 Metallization Silicide 기초반도체공정 8 2 CMOS Process High K Metal Gate Spacer LDD